INDUSTRY産業

物性一覧Physical Properties LIST

窒素（N₂） Nitrogen

化学式	分子量	ガス密度kg/m3 (0℃,1atm)	比重（空気=1） (0℃,1atm)	沸点 ℃ (1atm)	爆発限界vol% （空気中）	許容濃度 ppm	性質
N₂	28.01	1.2505	0.9674	-195.8	-	-	-

酸素（O₂） Oxygen

化学式	分子量	ガス密度kg/m3 (0℃,1atm)	比重（空気=1） (0℃,1atm)	沸点 ℃ (1atm)	爆発限界vol% （空気中）	許容濃度 ppm	性質
O₂	31.99	1.4289	1.1053	-183.0	-	-	支燃性

アルゴン（Ar） Argon

化学式	分子量	ガス密度kg/m3 (0℃,1atm)	比重（空気=1） (0℃,1atm)	沸点 ℃ (1atm)	爆発限界vol% （空気中）	許容濃度 ppm	性質
Ar	39.94	1.7839	1.379	-185.8	-	-	-

炭酸ガス（CO₂）　Carbon Dioxide

化学式	分子量	ガス密度kg/m3 (0℃,1atm)	比重（空気=1） (0℃,1atm)	沸点 ℃ (1atm)	爆発限界vol% （空気中）	許容濃度 ppm	性質
CO₂	44.01	1.9769	1.5291	-78.5（昇華）	-	-	-

水素（H₂） Hydrogen

化学式	分子量	ガス密度kg/m3 (0℃,1atm)	比重（空気=1） (0℃,1atm)	沸点 ℃ (1atm)	爆発限界vol% （空気中）	許容濃度 ppm	性質
H₂	2.02	0.0898	0.0695	-252.8	4.1～74.2	-	可燃性

ヘリウム（He） Helium

化学式	分子量	ガス密度kg/m3 (0℃,1atm)	比重（空気=1） (0℃,1atm)	沸点 ℃ (1atm)	爆発限界vol% （空気中）	許容濃度 ppm	性質
He	4.003	0.1785	0.1381	-268.9	-	-	-

冷媒ガス Refrigerant Gas

R-407C

成分	分子量	沸点℃	臨界圧力 MPa	蒸気圧 MPa・25℃	爆発限界vol% （空気中）	地球温暖化係数（GWP）※	性質
R-32/R-125/R-134a混合	86.20	-43.6	4.63	1.19	-	1620	-

※IPCC 5次報告より

R-404A

成分	分子量	沸点℃	臨界圧力 MPa	蒸気圧 MPa・25℃	爆発限界vol% （空気中）	地球温暖化係数（GWP）※	性質
R-125/R-134a/R-143a混合	97.60	-46.2	3.73	1.25	-	3940	-

※IPCC 5次報告より

R-410A

成分	分子量	沸点℃	臨界圧力 MPa	蒸気圧 MPa・25℃	爆発限界vol% （空気中）	地球温暖化係数（GWP）※	性質
R-32/R-125混合	72.60	-51.4	4.9	1.66	-	1920	-

※IPCC 5次報告より

R-22

成分	分子量	沸点℃	臨界圧力 MPa	蒸気圧 MPa・25℃	爆発限界vol% （空気中）	地球温暖化係数（GWP）※	性質
R-22	86.50	-40.8	4.99	1.04	-	1760	-

※IPCC 5次報告より

R-32

成分	分子量	沸点℃	臨界圧力 MPa	蒸気圧 MPa・25℃	爆発限界vol% （空気中）	地球温暖化係数（GWP）※	性質
R-32	52.00	-51.7	5.78	1.69	13.6～28.4	677	微燃

※IPCC 5次報告より

R-134a

成分	分子量	沸点℃	臨界圧力 MPa	蒸気圧 MPa・25℃	爆発限界vol% （空気中）	地球温暖化係数（GWP）※	性質
R-134a	102.00	-26.1	4.05	0.67	-	1300	-

※IPCC 5次報告より

半導体特殊材料ガス

モノシラン SiH₄

化学式	分子量	ガス密度kg/m3 (0℃,1atm)	比重（空気=1）	液密度kg/L （沸点）	爆発限界vol% （空気中）	許容濃度 ppm	性質
SiH₄	32.12	1.324 (20℃)	1.13	0.68 (-185℃)	1.37～100	5.0	自然・毒

ホスフィン PH₃

化学式	分子量	ガス密度kg/m3 (0℃,1atm)	比重（空気=1） (0℃,1atm)	液密度kg/L （沸点）	爆発限界vol% （空気中）	許容濃度 ppm	性質
PH₃	34.00	1.4024 (25℃)	1.184	0.746 (-90℃)	1.32～98	0.3	自然・可・毒

ジボラン B₂H₆

化学式	分子量	ガス密度kg/m3 (0℃,1atm)	比重（空気=1） (0℃,1atm)	液密度kg/L （沸点）	爆発限界vol% （空気中）	許容濃度 ppm	性質
B₂H₆	27.67	1.2475	0.96	0.421	0.84～93.3	0.1	自然・毒

アルシン AsH₃

化学式	分子量	ガス密度kg/m3 (0℃,1atm)	比重（空気=1） (0℃,1atm)	液密度kg/L （沸点）	爆発限界vol% （空気中）	許容濃度 ppm	性質
AsH₃	77.95	3.484	2.7	1.605 (-64.3℃)	0.8～99	0.005	可・毒

アンモニア NH₃

化学式	分子量	ガス密度kg/m3 (0℃,1atm)	比重（空気=1） (0℃,1atm)	液密度kg/L （沸点）	爆発限界vol% （空気中）	許容濃度 ppm	性質
NH₃	17.03	0.7708	0.59	0.674	15.5～27	25.0	可・毒

塩素 Cl₂

化学式	分子量	ガス密度kg/m3 (0℃,1atm)	比重（空気=1） (0℃,1atm)	液密度kg/L （沸点）	爆発限界vol% （空気中）	許容濃度 ppm	性質
Cl₂	70.91	3.214	2.98	-	-	0.5	毒

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R-407C

R-404A

R-410A

R-22

R-32

R-134a

半導体特殊材料ガス

モノシラン SiH4

ホスフィン PH3

ジボラン B2H6

アルシン AsH3

アンモニア NH3

塩素 Cl2

窒素（N₂） Nitrogen

酸素（O₂） Oxygen

アルゴン（Ar） Argon

炭酸ガス（CO₂）　Carbon Dioxide

水素（H₂） Hydrogen

ヘリウム（He） Helium

モノシラン SiH₄

ホスフィン PH₃

ジボラン B₂H₆

アルシン AsH₃

アンモニア NH₃

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